涡轮分子泵
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为了研究真空和实际应用的方便，常把真空划分为粗真空、低真空、高真空和超高真空四个等级。随着真空度的提高，真空的性质将逐渐变化，并经历由气体分子数的量变到真空质变的过程。
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真空设备和仪器仪表