产品详情
此系列阀门分为手动、气动、电动三种驱动方式，在结构设计上合理，在外形上美观，并具有动作平稳、体积小、使用可靠、密封性能好和寿命长等优点，能广泛应用于超高真空设备中。轴封有波纹管密封和氟橡胶密封两种可选择，其它密封件为氟橡胶，无润滑剂设计； 阀体采用不锈钢内部焊接，漏率小；阀体采用加强筋结构，侧执行器机构设计，体积小、重量轻，外形美观；采用双导轨轴承滚轮机构，运动平稳；阀板整体式结构，支撑力均匀。
技术参数
|
技术参数
|
微型UHV插板阀 |
|
|
DN40ISO-KF（不锈钢） |
DN40CF（不锈钢） |
|
|
漏率 |
＜5×10-10 |
＜5×10-10 |
|
压力范围，绝对值 |
1×10-10mbar-2bar |
1×10-10mbar-2bar |
|
高真空流导l×s-1 |
160 |
220 |
|
闸门处压差bar |
≤2，两个方向 |
≤2，两个方向 |
|
最大压差 |
≤30 |
≤30 |
|
第一次维护前的使用时间cycles |
50,000 |
50,000 |
|
除气温度 |
≤250/200 |
≤250/200 |
|
加热和冷却速度℃×h-1 |
50 |
50 |
|
压缩空气，最小值/最大值bar |
4.5/7.0 |
4.5/7.0 |
|
关闭/打开时间s |
0.7 |
0.7 |
|
先导阀 |
24VDC/6W或 |
24VDC/6W或 |
|
80℃时位置指示器开关能力A |
250VAC时，5； |
250VAC时，5； |
|
安装方位 |
任意 |
任意 |
|
重量kg |
1.8 |
1.8 |
|
材料 |
AISI304（1.4301） |
AISI304（1.4301） |
|
技术参数 |
HV插板阀 |
||
|
DN63ISO-F |
DN100ISO-F |
DN160ISO-F |
|
|
漏率 |
＜1×10-9 |
＜1×10-9 |
＜1×10-9 |
|
压力范围，绝对值 |
1×10-7mbar-1.6bar |
1×10-7mbar-1.6bar |
1×10-7mbar-1.6bar |
|
高真空流导l×s-1 |
550 |
2000 |
6000 |
|
闸门处压差bar |
1.6，两个方向 |
1.6，两个方向 |
1.6，两个方向 |
|
开阀时最大压差mbar |
≤30 |
≤30 |
≤30 |
|
第一次维护前的使用时间次 |
200,000 |
200,000 |
100,000 |
|
除气温度 |
120 |
120 |
120 |
|
安装方位 |
任意 |
任意 |
任意 |
|
重量kg |
3.0 |
4.5 |
9.0 |
|
材料 |
AlMg4.5Mn |
AlMg4.5Mn |
G-AlSi7Mg |
关键词:
高真空插板阀
应用行业
半导体
真空镀膜
工业过程
分析仪器
太阳能行业
电气行业
生物医药
致力于设计、研发、生产
真空设备和仪器仪表