产品详情
ZDF-Ⅲ型系列电阻/电离复合真空计是基于低真空测量电阻单元(ZJ-52T电阻规)与高真空测量电离单元(ZJ-27电离规)技术组合,以完成1×105~1×10pa连续测量与控制。因此该真空计系列具有电阻真空计与电离真空计所有技术参数与性能特点;同时又增加了新的功能。该真空计系列具有两种工作模式:手动模式与自动模式。
技术参数
*规管型号:电阻规ZJ-52T,电离规ZJ-27
*测量范围:连续测量(自动模式)1×10 5~1×10 -5 Pa;独立测量(手动模式)电阻单元1×10 5~1×10 -1 Pa;电离单元5~1×10 -5 pa
*测量路数:1低1高
*控制范围:电阻单元2.5×10 3~1×10°pa 电离单元1×10°~1×10 -4 Pa
*控制路数:4路可扩展至4或8路
*控制精度:±1%
*控制方式:继电器触点输出,负载能力AC220V/3A(或DC28V/3A)无感负载
*去气方式:焦耳去气
*仪器采样时间:1S
*电源:90-260V/50Hz或220V±10%50Hz
*功耗:55W
*重量:6Kg/5kg/4kg(视机箱尺寸而定)
*机箱尺寸:240×88×280或480×88×280 265×119×280或480×119×280(宽×高×深)
关键词:
ZDF-Ⅲ-LED电阻、电离复合真空计
应用行业
半导体
真空镀膜
工业过程
分析仪器
太阳能行业
电气行业
生物医药