产品详情
涡轮分子泵转子是一个带叶片的涡轮,快速旋转的叶片将动量传输给气体分子,将最初无方向性的热运动变成有定向运动。涡轮分子泵的抽气过程就是使气体分子从进气口法兰定向运动到前级真空口。在分子流范围也就是在低于10-3mbar的压强时,气体分子的平均自由行程大于转子与定子叶片之间的间距,气体分子主要与转子叶片碰撞,所以抽气过程非常高效。
技术参数
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技术参数 |
TURBOVACTW250S |
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接口尺寸 |
100ISO-K·100CF |
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抽速 |
230 |
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气载量 |
3.7 |
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压缩比 |
1×108 |
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极限压强mbar(Torr) |
<2×10-8(<1.5×10-8) |
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最大前级耐压,对于氨气mbar(Torr) |
3.0(2.3) |
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推荐的前级真空泵 |
TRIVACD2.5E |
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转速min-1(rpm) |
51600 |
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加速时间min |
3 |
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最大功耗W |
140 |
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极限压强时的功耗W |
20 |
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环境温度℃(°F) |
+15至+40(+59至+104) |
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冷却方式 |
风冷 |
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冷却水接口尺寸 |
G1/8″,内螺纹/10mm软管管嘴 |
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冷却水消耗量 |
30至60 |
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允许的冷却水压力l×h-1 |
3至7 |
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允许的冷却水温度℃(°F) |
20至40(+68至+104) |
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重量kg(lbs) |
5.8(12.8)0 |
关键词:
涡轮分子泵
应用行业
半导体
真空镀膜
工业过程
分析仪器
太阳能行业
电气行业
生物医药