湖北新为光微电子有限公司（武汉九峰山实验室）
分子束外延（MBE）分子泵真空机组
MBE
超高真空环境的实现
MBE技术要求在超高真空环境下进行，以确保薄膜生长的纯净度和质量。分子泵真空机组在此起到至关重要的作用，通过其高效的抽气能力，能够为MBE系统提供所需的超高真空环境。这种环境有助于防止薄膜生长过程中的杂质污染，从而保证半导体器件的高性能。
薄膜
精确控制薄膜生长
MBE系统中的分子泵真空机组不仅负责创建真空环境，还与系统的其他组件协同工作，以实现对薄膜生长过程的精确控制。通过精确控制蒸发源的蒸发速率和衬底温度，MBE技术能够在原子尺度上精确调控薄膜的厚度、组分和掺杂水平，这对于制造具有特定功能的半导体器件至关重要。
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