杭州海康微影传感科技有限公司
分子束外延（MBE）分子泵真空机组
10^-10
超高真空环境的创建
MBE分子泵真空机组的主要作用是在MBE生长腔中创建一个超高真空的环境。这是因为MBE过程需要在极低压力的条件下进行，以避免杂质的混入，确保薄膜的高纯度和高质量。分子泵加低温泵通过高效的抽气过程，能够达到超高真空度，通常在10^-10至10^-11托（Torr）的量级。
MBE
支持精确的材料沉积
在MBE系统中，分子泵真空机组不仅负责创建真空环境，还支持精确控制材料的沉积过程。通过维持稳定的真空度，MBE技术可以实现对薄膜生长的精确控制，包括薄膜的厚度、组分和掺杂量。这对于制造具有特定电学和光学性质的半导体器件至关重要。
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