真空泵的种类有哪些？

按工作原理分：容积变化泵（如旋片泵、涡旋泵等）；动量传输泵（如分子泵、扩散泵等）；吸附捕集泵（如低温泵、离子泵、吸气剂泵）。

　　真空泵的类型非常多，划分方法也多样：
　　按工作原理分：容积变化泵（如旋片泵、涡旋泵等）；动量传输泵（如分子泵、扩散泵等）；吸附捕集泵（如低温泵、离子泵、吸气剂泵）。
　　按工作介质分：干式泵（如涡旋泵、分子泵、离子泵等）和非干式泵（如旋片泵、扩散泵等）。
　　按真空度分：低真空泵（如旋片泵、涡旋泵、罗茨泵等）、高真空泵（如分子泵、扩散泵、低温泵等）、超高真空泵（如离子泵、钛升华泵、吸气剂泵等）。